半导体超纯水及 EDI 系统混床树脂
核级等效混床树脂，用于半导体超纯水和 EDI 抛光，达到电阻率 > 18.2 MΩ·cm，TOC < 1 ppb，符合 SEMI F63 标准。
技术规格
| TOC | < 1 ppb |
| 包装 | 25 升密闭袋（惰性 N₂ 气氛） |
| 外观 | H 型阳珠与 OH 型阴珠混合 |
| 标准 | 符合 SEMI F63 |
| 粒径 | 0.30–1.25 mm |
| 电阻率目标 | > 18.2 MΩ·cm |
应用领域
- 半导体晶圆厂超纯水终端抛光
- EDI 模块树脂补充
- 电厂凝结水精处理
- 制药注射用水（WFI）生产
- LCD/OLED 面板制造工艺水
产品特点
- 达到 18.2 MΩ·cm 超纯水质量
- 超低 TOC 浸出 < 1 ppb - 对半导体良率至关重要
- 核级机械稳定性 - 树脂细粉最少
- 密闭 N₂ 包装保持使用前离子形态